制冷式光谱仪基本配置包括一个光栅,一个狭缝,和一个探测器。这些部件的参数在选购光谱仪时必须详细说明。光谱仪的性能取决于这些部件的组合与校准,校准后光纤光谱仪,原则上这些配件都不能有任何的变动。
制冷式光谱仪通常使用光纤作为信号耦合装置,将测量到的光耦合到光谱仪进行光谱分析。由于光纤的方便,用户可以非常灵活地构建光谱采集系统。
制冷式光谱仪可以测量物体的薄膜厚度,可以测量的膜层厚度10nm-50μm,分辨率为1nm。除此之外还会被应用在金属和玻璃材料基底上光学膜层厚度的测量。