当爱德华分子泵维修M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
爱德华分子泵维修不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
当爱德华分子泵维修出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。