荧光光谱仪(1) 用荧光Ｘ射线法算出单位面积的质量（目标元素的附着量：g/m2）非实际质量。不能检出镀层里空隙的存在。用附着量除以目标元素的密度（g/cm3）换算成厚度（mm）。实际镀层密度不同的话，会产生误差。 (2)测厚度可选用无标样的薄膜 FP 法，也可选用标准曲线法，标准曲线法需要样品，其标称值好覆盖产品规格的上下限。 (3)测试厚度主要有两种方法：发射法和吸收法，前者测镀层元素的强度，后者测基体元素的强度。
荧光光谱仪(1) 荧光的照射面积跟测量出来的强度有关系。分辨率与分光晶体、准直器、探测器等 有关系。照射面积可以通过准直器来切换。
荧光光谱仪(1)仪器本身并不需经常维护，可以间隔适当时间对过滤网进行清洁。 (2)如有仪器机械故障，应联系供应商维修，不可私自拆开装置，以免弄巧成拙。