涡轮分子泵作为一种高精度的真空获得设备，在停止运行并需要进行维修时，需遵循一系列步骤以确保其性能恢复及长期稳定运行。 当发现涡轮分子泵的抽气效率下降、噪音增大或出现异常振动等故障迹象时，应立即停机进行检查与维修。首行的是断电与排气处理：关闭电源后排放内部气体压力至安全水平；随后进入拆卸阶段——由人员小心翼翼地拆解各部件以便检查磨损情况或更换损坏件如轴承和叶片。此过程中需注意保持清洁环境以防尘埃污染内腔表面影响真空度提升能力 。 接着是对转子及其他精密组件的清洗和润滑工作 ，使用溶剂去除油污并确保滑动部位得到适当油脂涂覆以减少摩擦损耗 ；后装配完成后还需进行功能测试 ：启动电机观察转速是否稳定 、密封性能以及终能否达到预定的工作压力值从而确保维修质量达标并能再次投入服务中去. 在整个流程里都要严格遵守操作规程和安全规范避免任何可能的二次损伤发生！