工业级四甲基氢氧化铵(Tetramethylammoniumhydroxide,简称TMAH)是一种重要的有机化合物。其分子式为(CH3)4NOH,通常表现为无色结晶或透明液体形态。TMAH具有强碱性、易吸潮和在空气中能迅速吸收二氧化碳的特性;同时它还具有良好的电化学稳定性与化学稳定性和热稳定性——在135\~140℃会分解气化而不会留下残留物^[2]^。这些性质使得它在多种工业生产中得到广泛应用:例如作为催化剂参与二甲基硅油等物质的合成过程;还可以用于提高电解质的导电性和稳定性^[3]^。此外,TMA还是一种有效的生物降解剂和处理废水中的有机物的重要试剂。而在半导体行业中,由于金属离子含量低这一特性使得它成为理想的正胶显影剂和光刻显影液成分之一。在具体制备过程中可能会采用不同方法如电解法、离子膜法等来得到高纯度且符合应用需求的产品:其中通过优化工艺条件和使用***分离技术可以显著提升产物质量和产量并降低生产成本及环境污染风险[2]。因此掌握和应用好关于该物质基本原理及其相关制备方法对于推动相关行业技术进步和产品升级具有重要意义