分子泵故障处理是一个复杂且细致的过程，涉及多个方面的检查和维修。以下是一些常见的分子泵的故障及其处理方法：故障一：速度太低;解决方法：检查电机的接线是否正确，电压是否正常或者透平的蒸汽压力是否正常。故障二：吸程太高;解决方法：检查现有的净压头(入口管线太小或太长会造成很大的磨擦损失)。故障三：系统水头太高;解决方法：检查系统的水头(特别是磨擦损失)。故障四：叶轮或管线受堵;解决方法：检查有无障碍物。故障五：真空泵没有注水或没有适当排气;解决方法：检查真空泵壳和入口管线是否全部注满了液体。故障六：产生空气或入口管线有泄漏;解决方法：检查入口管线有无气穴和/或空气泄漏。