分子泵故障维修方法主要包括以下几个方面： 1.气体泄漏处理 当发现抽气速度下降或真空度不稳定时，可能是因为法兰连接处密封不良、密封圈磨损等原因导致的内部泄漏。此时应使用检测仪器确定具体泄并进行重新密封或更换磨损的部件来解决问题；对于材料老化造成的小裂纹则可以采用的密封胶进行修补修复工 2.异响和振动检修 在运行过程中如果听到异常声音或者感觉到强烈震动的话应该立即停机检查是否由于转子不平衡、轴承损坏以及异物进入等问题所引起的现象； 3.过热问题解决方案 针对出现过热问题可以从冷却系统故障入手进行检查与维修确保水流畅通冷却液充足不缺失，同时还需要定期清理灰尘杂质减少摩擦阻力以达到降温目的防止其他组件受损害情况再次出现的可能性增大了许多呢！