涡轮分子泵是高或超高真空系统中常用的抽气设备，其故障维修方法主要包括以下几个方面：1.气体泄漏处理当发现泵的极限真空度低时可能是由于系统漏气引起的。此时应使用检漏仪器查找并确定具体的泄位置对法兰连接处进行重新密封或更换磨损的密封圈以解决泄露问题；对于因材料老化造成的小裂纹可以采用的密封胶进行修补。此外还需检查并确保排气管道和阀门的尺寸符合规定以避免电导值损失导致的性能下降。2.异响与振动检修转子不平衡、轴承损坏等都可能导致涡轮分子泵在运行过程中产生较大的噪音及震动针对这类情况需要停机后进行检查并根据检查结果采取相应的措施如重新校正转子的平衡性更换润滑不良的轴承等以确保设备的稳定运行减少异常声响的产生以及防止进一步损害的发生。同时还需要确保按照说明书正确安装泵体避免由于安放不当导致的问题发生。3.过热现象应对：过热通常是由于冷却系统故障造成的需要检查水冷或者风冷系统的运行状态确保其正常工作以降低温度保障设备的稳定运行和性；另外还要加强日常维护保养工作以减少摩擦损耗从而有效预防出现过热的情形影响正常的工作进度和使用寿命期限等问题出现的情况发生概率大小程度的高低变化发展趋势等情况发展态势的好坏与否等等一系列相关问题得到妥善合理地解决处理好到位才行呢！