涡轮分子泵故障处理主要包括以下几个方面：1.极限真空度低的处理方法。当发现极限真空度过低时，首先要检查前级泵的匹配情况和抽气量是否充足；其次要查找系统是否存在漏气现象并进行消除操作；还需要对涡轮分子泵进行烘烤除气的处理（温度不应高于150℃）。如果以上措施都无效的话就需要考虑更换新的设备了。此外也要注意在使用过程中要避免光照或者热源的影响导致温度升高从而降低工作效率以及损坏设备等问题发生哦！2.泵体及转子发热、叶片变形的处理方法为避免在磁场中运转或者在必要时使用隔磁材料来降低影响程度，当然啦也要记得定期检查水冷或风冷系统的运行状况是否正常，如果发现异常就要及时进行维修或更换相关部件才行。