涡轮分子泵在使用过程中可能会遇到多种常见故障，以下是对这些故障的归纳：极限真空度低：这可能是由于前级泵的抽气量不足、系统漏气或者是泵体出气等原因导致的。解决此类问题通常需要重新选配合适的前级泵、查出并消除漏处或对泵进行烘烤除气的操作等。运转中发热和噪音大：如果运行中涡轮叶片变形或者轴承润滑不良可能会导致过热现象；而转子动平衡不好或者是轴承损坏则可能引发较大的振动与噪声问题。对此类故障可以通过避免磁场影响使用隔磁材料以及检查修复油路等方式进行处理和解决。。?真空度下降?：可能是由于密封性能不佳或内部组件磨损。需要检查密封圈和排气口是否有问题??气体泄漏?：可能是由于法兰连接处密封不良、泵体材料老化或密封圈磨损。需要检测并修复泄漏点??过热?：可能是由于冷却系统失效或泵体摩擦加剧。需要检查冷却系统和清理泵体灰尘??电气故障?：可能是由于电源故障或控制信号干扰。需要检查电源和控制系统??转子卡滞?：可能是由于灰尘阻塞或长期未清理。需要检查并清理泵体?