Alcatel分子泵保养拆解操作指南（精简版）一、准备工作1. 确认设备已断电，真空腔体完全泄压至常压2. 准备工具：六角扳手套组、无尘手套、防静电腕带3. 清洁环境：建议在百级洁净工作台操作二、标准拆解流程1. 拆解外壳：使用T15星型螺丝刀卸下防护罩固定螺丝2. 转子分离：- 标记转子与定子的相位对应位置- 用拉拔器平稳卸下转子组件（轴向拉力＜50N）3. 轴承维护：- 检查陶瓷轴承表面磨损（允许划痕深度≤0.02mm）- 使用异超声清洗（40kHz/30min）4. 润滑系统处理：- 清理旧润滑脂- 补充润滑剂量0.5±0.05ml三、关键注意事项1. 禁止直接接触转子叶片（表面粗糙度要求Ra≤0.1μm）2. 安装时需保证转子动平衡偏差＜1g·mm3. 密封圈必须更换原厂配件（氟橡胶材质）四、装配后检测1. 低速试运行（2000rpm）检测振动值（应＜0.5mm/s）2. 真空度测试：10^-5mbar基准下，抽速衰减应＜5%建议每3000工作小时或半年执行预防性保养，复杂拆解需联系授权服务商。操作人员应持有真空设备维修资质认证。