Pfeiffer真空泵保养拆解操作指南一、准备工作1. 安全措施：断电并泄压，确保泵体温度降至室温，佩戴防护手套及护目镜2. 工具准备：扳手、内六角套筒、无尘布、真空油脂、密封胶、超声波清洗机二、拆解流程1. 外部组件拆卸：- 拆除进气口/排气口法兰- 卸下电机联轴器防护罩- 断开冷却水管路（水冷机型）- 分离电机与泵体连接螺栓2. 组件分解：① 转子系统：- 使用拉拔器拆卸叶轮组件- 按顺序分解各级转子与定子模块- 标记齿轮箱各齿轮啮合相位② 密封系统：- 取出机械密封组件（干式泵）- 检查油封完整性（油润滑泵）- 清理密封腔体残留物3. 辅助系统处理：- 拆卸真空计接口- 检查过滤器堵塞情况- 清理油雾分离器（如有）三、清洁与检查1. 使用溶剂超声清洗金属部件（20kHz/30min）2. 检查转子动平衡（允许偏差≤0.5g·mm）3. 测量轴向间隙（标准值0.03-0.05mm）4. 检测轴承游隙（应＜0.01mm）四、组装规范1. 按反向顺序装配，确保各部件定位销对齐2. 密封面涂抹真空脂（APIE GL-5级）3. 分阶段预紧螺栓（扭矩值参照手册±5%）4. 联轴器校准（同轴度≤0.02mm）五、注意事项1. 禁止使用清洗陶瓷部件2. 油润滑泵需更换ISO VG 100真空油3. 复合分子泵需保持涡轮叶片原装配向4. 重组后需进行24小时磨合运行（30%负载）维护周期建议：连续运行2000小时或真空度下降15%时进行保养。特殊工况应缩短至1000小时维护。建议保留拆解过程影像记录以备查验。涉及磁悬浮轴承等精密部件时，建议返厂维护。