ULVAC真空泵维修保养拆解操作指南一、准备工作1. 安全防护：佩戴防油手套、护目镜及防静电手环，准备工具套装2. 系统泄压：切断电源后，保持泵体自然冷却至常温（约需4-6小时）3. 油路处理：使用接油装置回收旧真空油，避免污染环境二、拆解流程1. 主体分离：按顺序拆卸进气滤网（注意密封圈保存）、排气阀组件2. 转子拆卸：使用热风对泵体均匀加热至80℃后拆解转子组（温差法）3. 腔体分解：按十字交叉顺序松开腔体螺栓，检查腔壁划痕深度（应＜0.02mm）4. 轴承检测：使用千分表测量轴承游隙（标准值＜0.05mm），记录磨损情况三、关键部件保养1. 油雾分离器：超声波清洗（40kHz，60℃）后检测压差（应＜15kPa）2. 密封系统：更换全部O型圈（优先选用氟橡胶材质），密封脂涂抹量控制在0.3mm厚度3. 旋片处理：测量旋片长度磨损（允许公差±0.01mm），端面研磨至Ra0.4μm四、回装注意事项1. 扭矩控制：腔体螺栓按对角顺序分三次紧固（终扭距28N·m±10%）2. 动平衡测试：转子组装配后需做G2.5级动平衡校验3. 真空测试：空载运行30分钟后检测极限真空度（应达5×10?3P别）五、维保周期建议连续运行环境下：每2000小时更换真空油及滤芯每5000小时进行轴承润滑脂补充每年进镇阀校准及泄漏率检测重要提示：涉及磁悬浮轴承或分子泵组件时，必须使用原厂校准设备。回装后需进行48小时磨合运行（阶梯式升压），并记录振动值（应＜2.5mm/s）。建议保留拆解过程影像记录以便追溯。