ULVAC真空泵的维修保养及拆解工作是一项且细致的任务，以下是相关步骤的简述：首行安全准备。确保泵已完全断电并处于安全状态；穿戴好防护装备如手套、护目镜等以保护自身不受伤害。然后进行放油与排气处理，打开放油阀排出润滑油,断开进气排气管道释放内部压力。接着开始拆卸外壳及相关组件:使用合适的工具逐步拆除外壳并记录顺序;检查轴承密封件等的磨损情况并做好记录;继续分离转子叶片等其他内部组件,保持其完整性避免损坏。完成这些之后才能进行清洁和检查工作。在组装前清理所有部件去除杂质；检查新更换零件是否合格，再按照逆序重新装配调整间隙，以确保平稳运行安装到位。