Varian分子泵是精密真空设备的部件，其拆解保养需严格遵循规范流程，以确保性能稳定并延长使用寿命。常见问题处理1. 轴承异响：多为润滑失效，需清除旧脂并重新注脂2. 真空度下降：检查转子镀层（特别是级叶片）及密封件状态3. 电机过热：检测绕组阻值平衡度（三相偏差应＜2%）保养周期建议：连续运行6000小时或真空度下降10%时进行维护。重组装后需进行48小时老化测试，真空度应恢复至5×10?? mbar量级。操作时严禁使用含硅清洁剂，防止污染真空系统。建议保留拆解过程影像记录，便于后期故障溯源。注：不同型号存在结构差异，具体参数请参考Varian维护规范。