复合分子泵的保养周期通常需根据使用频率、工况环境及制造商建议综合确定。以下为保养要点及周期参考：常规保养周期：复合分子泵的预防性保养间隔一般为 4000-8000小时运行时间（约6个月至1.5年）。若用于高负荷场景（如连续24小时运转、处理腐蚀性气体或粉尘），建议缩短至 3000-4000小时。部分工业型号（如半导体产线用泵）可能需每2000小时检测密封性。保养项目：1. 轴承润滑系统 高速陶瓷轴承需每3000-5000小时补充润滑油（如PFPE全氟聚醚），同时清理旧油脂残留。磁悬浮轴承需检查电磁线圈损耗及散热效率。2. 转子与定子清洁 针对沉积物（如聚合物残留或金属颗粒），建议每5000小时使用超声波清洗叶轮组，并用乙醇擦拭流道，防止动平衡失调。3. 密封件更换 金属密封圈寿命约2-3年，氟橡胶密封件在高温工况下需每年更换。真空侧密封需配合氦质谱仪检测漏率，漏率超过1×10?? Pa·m3/s时立即处理。4. 冷却系统维护 水冷泵需每月检查管路水垢，每半年更换去离子水；风冷型应清理散热鳍片积尘，确保温升不超过45℃。特殊工况调整：- 若长期抽除腐蚀性气体（如Cl?、O?），建议加装分子筛过滤器并每季度检查泵腔腐蚀情况。- 真空（