光谱干涉膜厚测试仪使用的是光谱干涉测量原理来测定薄膜的厚度。其工作基础主要依赖于光的干涉现象，这是一种当两列或多列光波在空间相遇时，由于叠加而导致光强重新分布的物理现象。在光谱干涉膜厚测试仪中，当一束光通过薄膜时，会发生干涉现象。薄膜的上下表面反射的光波会相互干扰，产生干涉条纹。这些干涉条纹的数量和宽度与薄膜的厚度有着密切的关系。通过精确测量干涉条纹的特征，如数量、宽度和分布等，可以推算出薄膜的厚度。此外，光谱干涉膜厚测试仪还利用了光的波动特性。若干列光波在空?湎嘤鍪保绻堑钠德氏嗤⒄穸较蛳嗤蚁辔徊詈愣ǎ敲此蔷突嵯嗷サ踊虻窒纬擅靼迪嗉涞母缮嫣跷啤Ｕ庵指缮嫘вξず癫饬刻峁┝丝赡堋?/p>总的来说，光谱干涉膜厚测试仪通过利用光的干涉原理和波动特性，实现了对薄膜厚度的精确测量。这种测量方法具有非接触、高精度、快速响应等优点，因此在材料科学、薄膜技术、光学工程等领域得到了广泛?挠τ谩?/p>