涡轮分子泵是精密真空设备的部件，其稳定运行依赖于规范的维护保养。以下为关键维护要点：一、日常监控与运行管理*参数监控：持续关注泵体温度（轴承/电机）、运行电流、振动及噪声。异常升高可能预示轴承磨损、叶片摩擦或电机问题。*环境保障：确保工作环境洁净、干燥、通风良好，避免粉尘、油雾及腐蚀性气体侵入泵腔。*规范启停：严格遵守启停程序，避免在非真空状态下高速运转，防止叶片过载损坏。停机后务必关闭前级阀，防止油蒸气返流污染。二、周期性维护保养*周检：清洁泵体外壳，检查冷却系统（风扇/水路）通畅性，确认各连接法兰及电缆无松动。*月检：检查前级泵油位及油质（浑浊需更换），清洁粗抽管路过滤器（如有）。*年度/按需保养：*轴承润滑：严格按手册要求周期及注油量补充或更换高速轴承润滑脂（如PFPE类），过量或不足均会损害轴承寿命。*叶片清洁：如真空度下降或抽速异常，在工程师指导下，使用无纺布蘸取分析纯级异或，轻柔擦拭各级转子/定子叶片表面污染物（切勿刮伤）。严禁使用压缩空气吹扫。*密封检查：检查各动/静密封件（如轴封）状态，老化失效需更换。三、关键部件维护*轴承：润滑是。记录运行小时数，到期强制保养。异常振动或噪音是轴承故障重要信号。*转子叶片：避免异物撞击。清洁时硬物接触。微小损伤也可能导致动平衡破坏。四、维护与记录*复杂拆解、深度清洁、轴承更换、动平衡校正等必须由厂家或认证工程师操作。*详细记录每次维护内容、更换部件、运行参数及异常情况，建立完整设备档案。安全提示：维护前务必断电、充分泄压至大气压，并确认泵体完全冷却！遵循手册安全规范。总结：涡轮分子泵的长寿命源于“严密监控、定期清洁、润滑、维护”。建立并执行科学的维护计划，是保障设备可靠运行、降低停机损失的关键投资。