涡轮分子泵作为高真空、超高真空系统的动力源，其性能与可靠性直接影响工艺质量。系统化的技术检测是保障其长期稳定运行的关键，主要涵盖以下方面：1.性能参数检测：*极限真空度：在标准测试罩下，使用经校准的真空计（如冷阴极、电容薄膜计）测量泵能达到的低压力，是评估泵抽气能力的金标准。*抽气速率：在特定压力点（如1×10⁻⁴mbar、1×10⁻⁶mbar）测量泵对特定气体的抽除能力，需测试罩和流量计，反映实际工况效率。*压缩比：尤其关注对重气体（如氮气、气）的压缩能力，评估泵处理工艺气体的能力及抗返流性能。2.机械运转状态监测：*振动分析：使用高精度振动传感器测量泵体各向（轴向、径向）振动速度有效值，超标振动（如>1.5mm/sRMS）常预示轴承磨损、转子动平衡劣化或叶片损伤。*噪声检测：异常噪音（尖锐啸叫、周期性敲击）是轴承故障、叶片摩擦或异物进入的直接信号。*轴承状态：通过振动频谱分析识别轴承特征频率（如内圈、外圈、滚动体故障频率）及其谐波，结合温度监测（轴承温升异常），实现早期故障预警。*转子动力学：监测启动/停止过程中的振动瞬态响应，评估转子系统稳定性。3.电气与控制系统检查：*电机性能：测量运行电流、电压及功率，异常波动可能指示电机绕组问题、驱动器故障或负载变化（如摩擦增大）。*驱动器功能：验证变频驱动器输出频率、电压的稳定性及加速/减速曲线是否正常，确保控制。*传感器与联锁：测试转速传感器、温度传感器（轴承、定子）、冷却状态监测等信号的准确性及安全联锁功能的有效性。4.结构完整性与泄漏检查：*气密性：采用氦质谱检漏仪对泵体焊缝、密封面（尤其是入口法兰、出口法兰）进行高灵敏度检漏，确保无微小渗漏。*外观与连接：检查泵体、叶片有无机械损伤、腐蚀迹象，紧固件是否牢固，冷却管路连接可靠无渗漏。系统化的技术检测不仅能及时发现故障隐患，避免非计划停机导致的生产损失，更能通过性能趋势分析指导预防性维护，显著延长泵的使用寿命，保障真空系统持续、可靠运行，为精密制造和科研实验提供坚实保障。