光学干涉膜厚仪利用光入射不同界面发生反射和透射而产生干涉条纹的原理，对薄膜材料的厚度进行非接触式、无损、精准快速的测量。这种测量方式具有多种优势，如实时反映生产过程中薄膜的厚度趋势、帮助调节生产设备以实现更稳定一致的生产，以及输出统计参数如横向纵向趋势图、最大值、最小值、极差、CPK等。
关于光学干涉膜厚仪能检测到的最小厚度变化，这实际上取决于具体的仪器型号和技术规格。不同品牌、型号的光学干涉膜厚仪，其测量精度、分辨率等参数可能会有所不同。一些高端的光学干涉膜厚仪可能具有非常高的测量精度和分辨率，能够检测到非常微小的厚度变化。然而，这也受到测量环境、样品特性等多种因素的影响。
因此，要确定光学干涉膜厚仪能检测到的最小厚度变化，需要参考具体仪器的技术规格和使用说明。同时，为了保证测量结果的准确性和可靠性，还需要注意仪器的校准和维护，以及正确选择和使用测量参数和方法。
总之，光学干涉膜厚仪在薄膜材料厚度测量方面具有广泛的应用前景和重要性，其能够检测到的最小厚度变化取决于具体仪器的技术规格和使用条件。