二氧化硅厚度测量仪多次测量同一物体的结果一致性，主要取决于测量仪器的性能、测量环境的稳定性以及操作人员的技能水平。
首先，测量仪器的性能对结果一致性具有决定性的影响。优质的二氧化硅厚度测量仪具有高精度、高稳定性等特点，能够确保多次测量结果的准确性和一致性。如果测量仪器存在性能不稳定或精度不足等问题，那么多次测量的结果可能会出现较大的偏差。
其次，测量环境的稳定性也会影响结果的一致性。在测量过程中，温度、湿度、气压等环境因素都可能对测量结果产生影响。因此，为了确保测量结果的准确性，需要在测量前对测量环境进行充分的准备和调试，并在测量过程中保持环境的稳定性。
此外，操作人员的技能水平也是影响结果一致性的重要因素。操作人员需要熟练掌握测量仪器的使用方法和注意事项，避免由于操作不当导致的测量误差。同时，操作人员还需要对测量结果进行仔细的分析和比较，及时发现并处理可能出现的异常情况。
综上所述，二氧化硅厚度测量仪多次测量同一物体的结果一致性受到多种因素的影响。为了获得准确、一致的测量结果，需要选择性能稳定的测量仪器、保持测量环境的稳定性、提高操作人员的技能水平，并采用适当的数据处理和分析方法。通过这些措施的实施，可以有效地提高二氧化硅厚度测量结果的准确性和一致性。