分子泵作为高真空系统的部件，其洁净度直接影响真空度、抽速及使用寿命。污染沉积（如油污、颗粒、化学残留）会显著降低泵性能，甚至导致轴承卡死或叶片损坏。定期、规范的清洁保养是维持其佳性能与可靠运行的关键。
清洁操作流程(务必在泵完全冷却、断电并恢复常压后进行)：
1.安全拆卸：佩戴洁净手套，使用工具小心拆卸泵入口法兰、出口管道及排气阀组件（若适用）。注意保护各密封面。
2.初步除尘：使用干燥、无油、低压力的洁净压缩空气或氮气，从入口向出口方向吹扫泵腔内部及叶片表面，去除松散颗粒。
3.溶剂清洗()：
*选择溶剂：推荐使用高纯度异(IPA)或。严禁使用含氯溶剂（如、）或强腐蚀性溶剂。
*操作：用无尘布或无纺布蘸取适量溶剂，轻柔擦拭泵腔内部、转子、定子叶片等所有可见表面。顽固油污可稍作浸润后擦拭。避免溶剂浸泡轴承区域。
*关键部位：重点清洁各级转子叶片顶部、侧面及定子流道表面。
4.冲洗与干燥：
*用新鲜溶剂冲洗擦拭过的表面，溶解并带走残留污物和溶解物。
*立即用大量洁净干燥的压缩空气或氮气吹干泵内所有部件，确保无任何溶剂或水分残留。可置于洁净环境中自然干燥数小时。
5.部件清洁：单独清洁拆卸下的法兰、密封圈（检查老化/变形，必要时更换）、过滤器等。密封圈清洗后需涂抹适量真空脂（如适用）。
6.检查与组装：
*仔细检查泵腔内、叶片有无损伤、变形或严重腐蚀。检查轴承是否顺畅（手动轻转转子）。
*确保所有部件完全干燥、洁净。按正确顺序和方向（尤其密封圈）小心回装，使用新密封圈（若旧圈状态不佳），按规定力矩拧紧法兰螺栓。
建议：对于严重污染或性能显著下降的泵，或涉及特殊污染物（如聚合物、盐类），强烈建议将泵返厂或交由维修中心进行深度清洁与维护，以确保佳效果和泵的安全运行。
遵循以上规程进行定期、规范的清洁保养，能有效清除分子泵内部污染物，地恢复并维持其抽气性能，显著延长使用寿命，保障高真空系统稳定运行。