

分子泵作为高真空系统的设备,其稳定运行依赖科学维护。以下为关键养护与维修要点:
一、日常维护(操作员执行)
*环境监控:实时监测泵体温度(外壳≤40℃)、冷却水流量/温度(按手册要求),确保系统真空度稳定(异常下降需警惕)。
*规范启停:严格遵循“先开前级泵,达基础真空(通常0.1Pa)再启分子泵”的流程;停机时先关分子泵,待完全停转(约10-30分钟)后关前级泵。
*清洁防护:定期清洁泵体灰尘,保持散热通畅;检查冷却水管路无渗漏,水质纯净(防结垢)。
二、定期保养(人员执行)
*轴承维护():
*每1-2年或运行8000小时,检查/更换高速轴承(依据振动噪声判断)。
*严格按手册使用润滑脂(如Krytox)及用量,过量将导致过热。
*密封检查:每年检查轴封与法兰密封圈,老化或破损及时更换,防止漏气。
*内部清洁:严重污染时(如返油),需拆解,用无绒布与溶剂(如IPA)清洁转子定子,严禁刮擦表面。
三、维修注意事项
*断电泄压:维修前务必断电,并确保腔体完全泄至大气压。
*轴承更换:需工具拆装,记录转子位置标记,安装后需精密动平衡校准。
*故障诊断:真空度下降、异响、振动加剧、过热均为常见故障信号,需结合真空计读数、控制器报警综合判断。
警示:长期停用需每周低速(约10%额定转速)运转10分钟,保持轴承润滑,防止静止腐蚀。
遵循上述规程,可显著延长分子泵寿命,保障科研与生产运行。复杂维修务必联系原厂或授权服务商。