涡轮分子泵（TMP）作为高真空系统的部件，其洁净度直接影响抽速、极限真空度和使用寿命。定期的清洁保养至关重要，以下是关键步骤与注意事项：
一、必要性：
*性能保障：油污、粉尘会增大转子摩擦阻力，降低转速和抽速，恶化极限真空。
*延长寿命：污染物加速轴承磨损，腐蚀精密叶片，可能导致动平衡破坏引发振动。
*系统稳定：避免颗粒物脱落污染真空腔室，影响镀膜、刻蚀等工艺质量。
二、清洁步骤：
1.安全准备：
*完全泄压：确保泵体恢复至常压，关闭所有电源并锁定。
*拆卸：按手册指引小心移除外壳、电机、冷却水管等（非必要不拆转子组）。
2.主体清洁：
*干冰喷射（）：使用干冰清洗机，高速喷冰颗粒，利用低温脆化与冲击力剥离油污、粉尘，无残留、不损伤精密叶片与流道。重点处理转子、定子叶片及泵腔。
*溶剂擦拭（辅助）：对顽固油渍，用无绒布蘸取高纯度异或电子级清洁剂轻拭非转子表面。严禁浸泡或直接冲洗转子！禁用等强溶剂。
3.轴承与密封：
*检查轴承是否有异响、过热痕迹。密封圈老化、变形需立即更换原厂件。
4.精细检查：
*强光下目视检查所有叶片有无变形、裂纹、磕碰。轻微损伤需校正，严重则更换。
*检查流道内壁光洁度，确保无划伤或凹坑。
三、复装与测试：
1.无尘环境：在洁净工作台或低粉尘环境中组装，戴无尘手套。
2.复位：严格按手册要求安装密封圈、对位螺丝，确保转子组动平衡不受影响。
3.真空测试：连接系统后，进行分段抽真空测试，记录达到基础真空（如1E-3mbar）和极限真空的时间及数值，与历史数据对比验证性能恢复。
四、关键注意事项：
*禁止自行拆解转子组：转子动平衡精度极高，非设备拆装必导致失衡振动。
*叶片防护：清洁工具（棉签、布）严禁接触叶片边缘，任何微小变形都将破坏性能。
*溶剂谨慎使用：过量溶剂残留可能污染真空系统，务必挥发干燥。
*规范周期：根据使用环境（粉尘、油汽浓度），一般每1-2年或累积运行8000小时后进行保养。