涡轮分子泵负载太大

涡轮分子泵负载过大主要源于过高的气体负荷（前级真空不足、大漏气、工艺放气）或内部机械故障（轴承损坏、摩擦、异物）。应首先快速排查前级压力和系统泄漏/工艺放气情况。若排除气体负荷问题，则极可能是泵内部机械故障，需检修。忽视此问题会严重损害设备。