涡轮分子泵作为高真空系统的部件，其性能直接影响实验或生产质量。科学、规范的维护保养是保障其长期运行的关键：
日常维护(每次使用后/每日)：
*表面清洁：使用无绒布清洁泵体外壳、法兰接口，防止灰尘进入。
*环境监控：确保泵体周围通风良好，无热源、振动源，环境温度、湿度在允许范围内。
*运行：启动/运行中异常噪音（尖锐摩擦、撞击声）、观察振动是否异常增大。
*冷却检查：确认水冷系统流量、温度正常（如适用）；风冷散热器无积尘堵塞。
*基础参数：记录启动时间、达到工作真空度时间、极限真空度、运行电流等基础参数，便于趋势分析。
定期维护(按运行小时/月)：
*前置过滤检查：清洁或更换入口处防尘网/粗抽过滤器。
*冷却系统维护：水冷系统检查水质、清理过滤器；风冷系统除尘。
*电源与接口检查：检查电源线、信号线连接是否牢固可靠。
*真空密封检查：检查各法兰接口密封圈(O型圈)状态，清洁密封槽，必要时更换老化或损坏的密封圈（使用真空油脂）。
*控制器状态：检查控制器面板指示灯、报警信息是否正常。