磁悬浮分子泵作为高真空系统的设备，其调试是确保性能与可靠性的关键步骤。遵循严谨流程至关重要：
1.调试前准备：
*环境确认：检查安装环境（洁净度、振动、电磁干扰）符合要求，泵体安装稳固、对中良好。
*系统检查：确认所有管路（特别是入口法兰）连接正确、密封可靠（如使用氦质谱检漏仪进行真空密封性测试）。冷却水路畅通，电源与控制线缆连接无误。
*控制器准备：接通控制器电源，完成系统自检。确保软件版本匹配，参数设置（如保护阈值）已按手册或工艺要求初步配置。
2.启动与悬浮调试：
*初次上电：在确认前级泵已启动并建立一定前级真空（通常需达到10-100Pa量级）后，启动分子泵控制器。此时磁轴承系统开始工作，转子应平稳悬浮。
*悬浮状态监控：密切观察控制器界面显示的悬浮位置、间隙电流、振动等实时参数。转子应迅速稳定在设定位置，无异常抖动或报警。如有异常，需立即停机排查（如传感器、电磁线圈、控制参数问题）。
3.加速与性能测试：
*平稳加速：在悬浮稳定后，指令控制器驱动转子逐步加速至额定转速（通常数万至十万转/分）。监控电流、温度、振动变化，确保加速过程平稳，无过流、过热或振动超标。
*极限真空测试：达到额定转速并稳定运行后，关闭系统与泵之间的隔离阀（或确保系统无泄漏、无放气）。记录泵入口压力随时间下降曲线，终测得极限真空度（通常要求优于10^-7mbar，具体看型号与工艺要求），验证其抽气能力。
*参数优化与记录：根据实际运行数据（如振动频谱），微调磁轴承控制参数（需严格遵循手册指导）。详细记录所有关键步骤的终参数、测试结果及环境条件。