

磁悬浮分子泵以其无油污染、限真空、低振动噪音等优势,成为科研、半导体制造等领域的关键设备。其在于磁轴承系统,这也决定了维护工作的特殊性:
维护原则:预防为主,操作
1.环境控制:保持安装环境清洁、干燥、低粉尘。振动源需隔离,避免磁场干扰(如大型电机、变压器附近)。温度稳定对磁轴承控制精度至关重要。
2.运行监控:密切监控关键参数:
*轴承状态:位移电流、振动值是磁轴承健康的指标,异常波动往往是故障前兆。
*温度:电机线圈、定子温度需在安全范围内。
*功耗:运行电流异常升高可能预示内部摩擦或负载异常。
*真空度:性能下降或抽速异常可能提示泵内污染或系统泄漏。
3.定期保养(关键):
*清洁与检漏:按厂家要求(通常1-2年),由授权工程师进行拆解(需工具和软件)。重点清洁叶轮、定子流道、陶瓷轴等处的微粒沉积(避免刮伤),并使用氦质谱仪严格检漏。
*轴承系统校准:重新校准位移传感器、电磁铁参数,确保悬浮精度和动态稳定性。
*电路检查:检测控制器电源、功率模块、传感器线路。
4.规范操作:
*严格遵守启停程序,避免高速下突然断电(需备用电源保障安全降速)。
*防止异物吸入(入口装过滤器)。
*工艺气体若具腐蚀性/沉积性,需提前评估兼容性或增加前级处理。
*严禁在非真空状态下高速运行(可能损坏轴承)。
磁悬浮分子泵是精密设备,其维护需依赖团队和规范流程。通过严格环境控制、实时运行监控、定期保养及规范操作,可有效保障其长期稳定运行,发挥大价值,为高要求真空应用提供可靠保障。