磁悬浮分子泵返油处理

磁悬浮分子泵返油是指泵内润滑油或前级泵的油蒸气在特定条件下（如停机、温度变化、密封失效）倒流回高/超高真空腔体的现象。这不仅污染腔体、样品或工艺，降低真空度，更可能严重影响产品良率或实验结果。

返油是磁悬浮分子泵应用中的重大威胁。处理需及时隔离、清洁腔体（尤其烘烤）、修复泵体密封与状态。更关键的是系统性预防：严格执行启停规范、加装吸附阱/冷阱、保障密封、管理前级泵并进行有效监控，方能大限度避免返油发生，保障真空系统的洁净与运行。