磁悬浮分子泵凭借无接触、超高转速、洁净无油等优势，成为真空系统的设备。其精密性与复杂性决定了预防性维护远优于故障维修。规范的养护是保障其长期稳定运行、延长寿命的关键：
一、日常维护(用户侧可执行)
1.环境保障：保持设备安装环境清洁、干燥、无尘。定期清洁泵体外壳散热片，确保散热风扇通畅无阻，防止过热（过热是轴承损坏主因）。
2.基础监控：
*运行状态：每日观察控制面板显示的状态（如转速、电流、温度、真空度）是否在正常范围，有无异常报警。
*冷却系统：检查水冷系统的流量、温度（若为水冷型），或风冷系统的风扇运转是否正常。
*真空度：关注达到极限真空所需时间及极限真空值，异常变化可能预示内部问题。
3.基础检查：
*电气连接：定期检查电源线、信号线连接是否牢固可靠。
*振动与噪音：倾听运行声音是否平稳，有无异常摩擦、撞击声；手触感受有无异常振动。
二、定期维护(建议由工程师或原厂服务)
1.检测：按厂家建议周期（通常每运行4000-8000小时或每年），由人员进行检测：
*轴承状态评估：通过软件分析轴承振动频谱、电流波形等参数，评估磁轴承健康状况（这是）。
*控制系统校准：检查并校准位移传感器、控制器参数，确保悬浮控制。
*电气性能测试：检测驱动板、控制板关键点电压、波形。
*分子泵叶片检查：在安全条件下，检查高速转子叶片有无异物撞击、变形或污染积聚（需特殊工具和方法）。
2.系统清洁：在指导下，必要时对泵腔内部进行极其谨慎的清洁，去除可能积聚的轻微污染物（需使用无残留溶剂和超净材料，严禁普通擦拭）。
3.软件升级：适时更新控制器固件，获取性能优化和故障诊断改进。
三、安全操作与注意事项
1.断电操作：进行任何维护前，务必切断主电源并等待足够时间（遵循手册），确保转子完全停转、控制器电容放电完毕。高压危险！
2.严禁带压操作：维护时确保泵腔已通大气，禁止在真空状态下强行拆卸或操作，防止高速转子意外跌落造成灾难性损坏和人身伤害。
3.防静电：接触内部电子部件时，严格佩戴防静电腕带，使用防静电工具。
4.授权：涉及磁轴承、转子、控制器部件拆解、维修、更换，必须由原厂授权工程师执行。用户自行拆解极大概率导致不可逆损坏。