

在真空技术领域,真空度(通常以压强表示,如Pa、mbar、Torr)是衡量系统内气体稀薄程度的指标。磁悬浮分子泵(FMB)凭借其革命性的无接触磁轴承技术,在实现并维持极高真空度方面展现出性能。
真空度的价值:
真空度是衡量气体分子密度和平均自由程的关键参数。更高的真空度(更低的压强)意味着:
1.分子密度极低,碰撞减少。
2.分子平均自由程显著增长,气体行为更接近分子流态。
3.为精密制造(如半导体光刻)、前沿科研(粒子、表面分析)和特殊工艺(镀膜)提供无污染的纯净环境。
磁悬浮分子泵通过无油磁轴承技术,克服了传统机械轴承泵的污染和转速限制,实现了超高转速、零润滑剂污染、极低放气率和的极限真空度(常达10^{-8}-10^{-9}Pa)。它不仅是快速获得高真空的工具,更是实现和维持超高/极高真空这一纯净、无扰实验与生产环境的关键保障,为现代前沿科技和制造提供了不可或缺的真空基础。