

真空泵的性能指标就是其所能达到和维持的真空度。它本质上是指泵入口处气体稀薄的程度,即气体压力低于标准大气压(101325Pa)的程度。真空度越高,意味着泵出口处的气体压力越低,气体分子越稀少。
1.定义与表示:
*真空度通常用压力来表示,单位是帕斯卡(Pa)、毫巴(mbar)或托(Torr)。1mbar≈100Pa,1Torr≈133.3Pa。
*有时也用“相对压力”(相对于大气压)表示,单位是负的毫巴(-mbar)或负的巴(-bar),但压力是更科学和通用的表述。
*数值越小,真空度越高。例如,1Pa的真空度远高于1000Pa(即10mbar)。
2.极限真空度:
*这是真空泵在入口完全封闭、无气体负荷(即没有气体从被抽容器流入)的理想状态下,所能达到的压力。它代表了泵自身能力的理论极限,主要由泵的设计、内部泄漏、材料放气等因素决定。
3.不同的应用对真空度的要求差异巨大:
*粗真空(10^5-10^3Pa):物料搬运、真空包装、简单脱气。
*低真空(10^3-10^{-1}Pa):真空干燥、真空浸渍、普通炉子。
*中真空(10^{-1}-10^{-4}Pa):真空冶金、冷冻干燥、真空镀膜(部分)。
*高真空(10^{-4}-10^{-7}Pa):电子束焊接、真空镀膜(PVD,CVD)、粒子、空间模拟。
*超高真空(<10^{-7}Pa):表面科学、粒子物理、半导体工艺。