

进口分子泵作为高精度、值的真空设备,其稳定运行至关重要。出现故障时,需系统排查、谨慎处理:
常见故障与处理:
1.无法启动/运行异常:
*检查供电:确认电源电压、频率符合要求,接线牢固无松动。
*检查控制器/变频器:观察指示灯、显示屏状态,是否有报警代码。重启控制器或尝试复位。
*检查联锁信号:确保所有安全联锁(如冷却水流量、温度、前级真空压力)均已满足启动条件。
2.真空度不足/抽速下降:
*检查前级真空:前级机械泵或干泵是否正常工作?前级管道是否泄漏?前级真空压力是否达标(通常需低于10-1mbar范围)。
*排查泄漏:对泵体、法兰接口、密封圈进行检漏(氦质谱检漏仪佳)。重点检查新安装或拆卸过的部位。
*检查返油:泵入口是否有大量油雾?检查前级泵油位是否过高、油气分离器是否失效、管路设计是否合理(如存在返油陷阱)。
*内部污染:长期使用可能积累油污、粉尘。考虑拆解清洗(需极其谨慎,非人员勿操作)。
3.异常噪音/振动:
*立即停机!异常噪音或振动往往是轴承损坏、转子动平衡破坏、叶片摩擦泵体(扫膛)的征兆。继续运行可能导致灾难性损坏。联系维修人员。
4.泵体过热:
*检查冷却系统:冷却水流量是否充足?水温是否过高?冷却水管路是否畅通、有无堵塞?水冷散热器(如有)是否清洁?
5.控制器/变频器报警:
*查阅手册:根据显示的报警代码,查阅设备说明书,明确具体故障含义。
*常见报警:过流、过压、欠压、过温、通讯故障、电机故障等。针对性检查相关电路、传感器、连接线。