复合分子泵（通常结合了涡轮分子泵和牵引分子泵）是获取高真空和超高真空的关键设备。为确保其长期稳定运行、延长使用寿命并维持佳性能，定期和规范的维护保养至关重要。
维护内容
1.日常监控与记录：
*运行参数：定期检查并记录泵的转速、电流、温度（泵体和电机）、冷却系统状态（如适用）以及前级泵的运行参数（入口压力、油位等）。任何异常波动都可能是潜在问题的信号。
*振动与噪音：注意倾听泵运行时的声音是否异常（如摩擦、刮擦声），并观察是否有异常振动。显著的变化可能指示轴承磨损或内部部件松动。
*真空度：监控泵所能达到的极限真空度和抽速，性能下降可能是需要维护的信号。
2.定期维护（视使用频率和环境而定）：
*前级泵维护：复合分子泵依赖前级泵（通常是油封旋片泵或干泵）。必须严格按照前级泵的维护要求进行换油、清洁油雾滤网/油气分离器、检查油位和密封件等。污染或失效的前级泵会直接影响分子泵的性能和寿命。
*进气口滤网：清洁或更换泵进气口的防尘滤网（如有），防止大颗粒灰尘进入泵体。
*冷却系统：确保风冷系统的散热片清洁无尘；水冷系统需检查水质、流量，防止结垢或堵塞。
*泵体清洁：保持泵体外壳清洁，避免灰尘堆积影响散热。
3.维护（通常由厂家或工程师执行）：
*轴承检查与更换：高速轴承是分子泵的部件，寿命有限。根据运行小时数或厂家建议，定期（通常是数千到数万小时）由人员检查或更换轴承。
*内部清洁：在严重污染（如大量油蒸气反流、颗粒物进入）后，可能需要对泵内部进行清洁。这通常需要将泵返厂或在严格控制的洁净环境下进行。
*动平衡校验：在更换轴承或进行内部维修后，通常需要重新进行转子的动平衡校验。
*密封件检查：检查各连接法兰处的密封圈（O型圈），如有老化、破损或失去弹性应及时更换，确保真空密封性。
操作规范
*正确的启停顺序：严格遵守“先启动前级泵，待前级真空达到要求后再启动分子泵”的启动顺序；关机时则相反，“先停分子泵，待其转速降至安全范围或完全停止后，再停前级泵”。避免在低真空下启动分子泵或在高压差下直接关机。
*避免返油：防止前级泵油或工艺过程中的油蒸气大量返流进入分子泵腔体。
*避免颗粒物：防止大颗粒粉尘或碎屑进入泵内，以免损坏高速旋转的叶轮。