

复合分子泵作为高真空系统的设备,其稳定运行对生产流程至关重要。当设备出现抽速下降、异常噪音或真空度不足等问题时,的维修服务是保障设备恢复佳性能的关键。
我们提供的复合分子泵维修解决方案:
1.诊断:工程师通过设备检测,快速定位轴承磨损、涡轮叶片损伤或密封失效等故障根源。
2.精密修复:在千级洁净环境中,采用原厂配件更换组件,确保涡轮叶片动平衡校准精度达到±0.1g·mm/mm。
3.性能验证:使用氦质谱检漏仪进行10⁻¹⁰mbar·L/s级泄漏检测,并通过四级测试平台验证极限真空度恢复至10⁻⁸mbar水平。
复合分子泵维修服务:技术保障设备运行