复合分子泵是现代超高真空系统的动力源，由涡轮分子泵段与牵引分子泵段复合而成。其工作原理基于高速旋转的叶片对气体分子的动量传递：涡轮段叶片以数百米每秒的线速度撞击气体分子，实现气体分子的定向高速传输；牵引段则利用高速旋转的转子与定子间狭窄缝隙产生的粘滞牵引效应，将气体分子从入口端拖曳至出口端。这种复合结构使分子泵兼具涡轮泵的高抽速和牵引泵的极限真空优势，极限真空可达10⁻⁸Pa至10⁻⁹Pa量级。
在精密检测领域，复合分子泵展现出独值：
-无油污染保障：全干式运行规避了油扩散泵的返油污染，为表面分析（如XPS、AES）、电子显微镜等仪器提供超洁净真空环境；
-快速抽气能力：涡轮段的高抽速特性（可达1000L/s以上）大幅缩短系统抽气时间，提升检测效率；
-稳定超高真空：牵引段对低质量数气体（如氢气）的高压缩比特性，确保分析腔室获得稳定的超高真空本底；
-紧凑结构设计：模块化结构易于集成到精密仪器中，满足空间受限的检测设备需求。
目前，复合分子泵已成为半导体缺陷分析、材料表面科学研究、高能物理探测器等检测装备的真空解决方案。随着纳米技术及科技的发展，其低振动、低电磁干扰的特性将进一步推动精密测量领域的突破。