高真空分子泵作为获得洁净高真空的设备，其性能直接关系到真空系统的稳定运行。为确保其性能达标及长期可靠性，需进行系统性的技术检测，主要包含以下方面：
1.极限真空检测：在关闭进气阀的状态下，运行分子泵至稳定，测量其能达到的低压力。这是评估泵抽气能力的指标，通常要求达到10⁻⁷Pa至10⁻⁹Pa量级。
2.抽速检测：通过定容法或标准孔板法，测定泵在不同入口压力下的抽气速率曲线，验证其是否满足设计要求。
3.压缩比检测：测定泵对特定气体（如氮气、氦气）的出口压力与入口压力之比，反映泵对轻质气体的抽除能力，尤其是氦气压缩比是重要指标。
4.振动与噪声检测：使用振动测试仪及声级计，检测泵在运行过程中的振动幅度及噪声水平，确保其在允许范围内，避免对精密设备或环境造成干扰。
5.轴承状态监测：通过运行声音或振动频谱分析，初步判断高速轴承的工作状态。
6.启动与停机特性：检测泵的启动时间、达到额定转速时间以及停机后的惰转时间，评估电机及控制系统的性能。
7.气密性检测：对泵体及连接法兰进行氦质谱检漏，确保无泄漏点，保障极限真空。
8.电气参数检测：检查电机绕组绝缘电阻、运行电流、冷却系统等是否正常。
通过上述综合检测，可评估高真空分子泵的当前性能状态、潜在故障及剩余寿命，为设备的验收、维护及可靠运行提供重要依据。