氦气检漏技术是现代工业中检测微小气体泄漏的关键方法，其设备是氦气检漏仪（通常指氦质谱检漏仪）。该技术因其极高的灵敏度和准确性，在要求严格密封性的领域应用广泛。
原理
氦气检漏仪的部件是质谱仪。当被检件（如容器、管道、真空系统）连接至检漏仪并抽真空后，在疑似泄漏点外部喷吹或包裹氦气（氦气作为示踪气体）。如果存在泄漏，氦气分子会通过漏孔进入被检件内部，并随气流进入质谱仪。质谱仪能识别并测量氦分子离子的数量（电流信号），信号强度直接反映泄漏量的大小和位置。氦气分子量小、扩散快、化学性质稳定、自然环境中含量极低，这些特性使其成为理想的示踪气体，避免了背景干扰。
典型的氦气检漏操作包括：被检件准备与连接、系统抽真空、氦气喷吹或累积、质谱仪检测与信号分析、泄漏点定位与标记、泄漏率计算等步骤。操作需规范，环境氦气背景值需低，以确保检测结果的准确性。
总之，氦气检漏仪技术是现代精密制造和质量控制中不可或缺的检测手段，为保障设备安全运行、提升产品质量提供了强有力的技术支持。