高真空泵组是精密设备，其维修需遵循严谨流程。维修前务必切断电源、释放系统压力并确认设备冷却至室温。
常见故障排查：
1.抽速下降：检查前级管道密封件（O型圈、法兰垫片）是否老化漏气，清洁粗抽泵油及油雾过滤器。
2.极限真空不足：检测分子泵轴承磨损情况，使用氦质谱检漏仪定位微小漏点，必要时更换扩散泵油或清洁冷阱。
3.异常噪音/振动：排查罗茨泵转子碰撞（需校准间隙）、轴承失效或涡轮分子泵叶片损伤。
部件维护：
-机械泵：更换旋片及密封油封时需保证腔体清洁度（ISO14644-5标准），使用型号真空泵油。
-分子泵：轴承更换需液压工具，动平衡精度应≤0.1g·mm/kg，叶片清洁使用无残留溶剂。
-真空计规管：热偶规校准曲线校验，电离规除气操作（建议1200℃/30min）。
系统恢复测试：
完成维修后，按阶梯升压法测试：先启动前级泵至10Pa，再开启高真空泵。使用标准漏孔（1×10⁻⁷Pa·m³/s）验证密封性，记录24小时压力曲线评估系统稳定性。
安全提示：操作需佩戴氟橡胶手套（防油渗透），处理冷媒时穿戴防冻装备。建议保留维修日志（含更换件批次号、测试数据），为后续维保提供依据。
*注：涉及精密动平衡、分子泵轴承压装等关键操作，建议由制造商认证工程师执行。