氦气检漏仪作为高精度、高灵敏度的泄漏检测设备，广泛应用于半导体、真空、航空航天、制冷、汽车、电力、科研等领域，用于定位和量化微小泄漏。其原理是利用氦气作为示踪气体，通过质谱仪检测氦离子信号。
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