高真空泵组（通常包含旋片泵、分子泵等）是精密设备，定期维护对保证真空度、延长使用寿命至关重要。主要维护内容如下：
一、日常监控
1.运行参数：定期记录入口/出口压力、电机电流、轴承温度、振动及噪音，异常时及时排查。
2.环境清洁：保持设备周围无粉尘、油污，避免异物进入泵腔。
3.冷却系统：检查水冷管路畅通性及冷却液温度，风冷设备确保散热器清洁。
二、定期保养
1.油品管理：
-旋片泵：每500-2000小时更换真空泵油（视工况定），油窗出现浑浊、乳化立即更换。
-油滤清洁：每次换油同步清洁或更换油过滤器。
2.密封件检查：每半年检查轴封、O型圈等密封件，老化或破损及时更换，防止漏气。
3.进气口滤芯：每月清洁粗抽管路中的粉尘过滤器，避免颗粒物进入泵体。
4.分子泵轴承：按手册要求（通常1-2年）补充或更换特种润滑脂，避免干摩擦。
三、深度维护
1.内部清洁：每年拆卸泵体，使用无残留溶剂清除泵腔、转子积碳及油泥（旋片泵需取出旋片清洁槽位）。
2.系统检漏：停机期间对泵组与真空室连接处进行氦质谱检漏，消除微漏点。
3.电气检测：校验过载保护、联锁装置可靠性，清洁电机接线端子。
注意事项：
-操作前务必断电、泄压，穿戴防护装备。
-使用原厂耗材（油品、密封脂等）。
-维护后需进行真空性能测试（如极限压力、抽速）。
-建立维护档案，记录每次保养内容及参数变化。
规范维护可显著降低故障率，确保泵组持续提供稳定高真空（≤1×10^{-4}Pa），保障镀膜、分析等工艺质量。