分子泵作为高/超高真空系统的设备，其稳定运行直接影响工艺质量。维修过程需遵循流程：
安全与诊断
*操作前务必断电，佩戴防静电手环
*通过真空计读数异常（如抽速骤降、极限压力升高）和异常噪音（高频啸叫/机械摩擦声）初步判断故障点
部件检修
1.轴承系统：拆卸后检测轴承游隙（标准值0.02-0.05mm），更换润滑脂（建议使用Krytox240AC）
2.叶轮组件：使用激光测距仪检测叶轮间隙（要求0.1-0.3mm），动平衡校验（残余不平衡量<0.5g·mm）
3.电机绕组：兆欧表检测绝缘电阻（≥100MΩ），三相直流电阻偏差≤2%
4.密封系统：更换磁流体密封（真空侧漏率需≤1×10⁻⁹Pa·m³/s）
组装与测试
采用分阶段抽真空法：先预抽至1Pa，运行2小时后逐步降至10⁻⁴Pa。测试中监控：
*启动电流（正常为额定值120%-150%）
*振动加速度（应＜2.5mm/s）
*温升曲线（轴承温度≤65℃）
维修提示
*使用无纺布蘸取分析纯级异清洁腔体
*叶轮组装需在百级洁净台操作
*磁轴承系统校准需工装（偏移量控制±0.01mm）
经规范维修的分子泵，其极限真空应恢复至5×10⁻⁸Pa以上，抽速达标称值90%以上，确保设备重返高精度制造场景。