

分子泵作为高/超高真空系统的设备,其稳定运行直接影响工艺质量。维修过程需遵循流程:
安全与诊断
*操作前务必断电,佩戴防静电手环
*通过真空计读数异常(如抽速骤降、极限压力升高)和异常噪音(高频啸叫/机械摩擦声)初步判断故障点
部件检修
1.轴承系统:拆卸后检测轴承游隙(标准值0.02-0.05mm),更换润滑脂(建议使用Krytox240AC)
2.叶轮组件:使用激光测距仪检测叶轮间隙(要求0.1-0.3mm),动平衡校验(残余不平衡量<0.5g·mm)
3.电机绕组:兆欧表检测绝缘电阻(≥100MΩ),三相直流电阻偏差≤2%
4.密封系统:更换磁流体密封(真空侧漏率需≤1×10⁻⁹Pa·m³/s)
组装与测试
采用分阶段抽真空法:先预抽至1Pa,运行2小时后逐步降至10⁻⁴Pa。测试中监控:
*启动电流(正常为额定值120%-150%)
*振动加速度(应<2.5mm/s)
*温升曲线(轴承温度≤65℃)
维修提示
*使用无纺布蘸取分析纯级异清洁腔体
*叶轮组装需在百级洁净台操作
*磁轴承系统校准需工装(偏移量控制±0.01mm)
经规范维修的分子泵,其极限真空应恢复至5×10⁻⁸Pa以上,抽速达标称值90%以上,确保设备重返高精度制造场景。