分子泵是一种利用高速旋转叶片与气体分子碰撞实现动量传递的高真空获得设备。其原理基于气体动力学理论：当转子叶片以线速度（通常300-500m/s）超过气体分子平均热运动速率时，气体分子与叶片碰撞后会获得定向速度，从而形成从入口到出口的定向流动。
现代分子泵多采用复合式结构设计：
1.涡轮分子泵级：由多层动/静叶片组成，通过叶片倾角产生泵送作用，适用于中高真空范围
2.牵引分子泵级：在叶片表面开设沟槽，利用黏滞流态下的气体拖曳效应，提升低真空段抽气能力
技术优势突出：
-极限真空可达10^{-7}~10^{-10}mbar
-抽速范围覆盖10-2000L/s
-洁净无油污染，适合半导体制造
-启动压力高达1~10mbar
-对氢气等轻质气体抽速显著
典型应用场景：
-集成电路光刻机真空系统
-电子显微镜样品仓真空维持
-航天器热真空环境模拟
-高能粒子束流管道
-真空镀膜设备工艺腔室
日常维护需重点关注轴承润滑状态与冷却系统效能，定期检查振动频谱可预判机械故障。通过分子泵与低温泵的复合使用，可获得超高真空环境（<10^{-10}mbar）。
分子泵技术已成为现代制造业和前沿科学研究的真空系统基石，其性能持续优化推动着半导体工艺、科技等领域的突破性发展。