当真空系统（特别是分子泵）出现抽速下降、极限真空度变差或无法达到预定真空度时，需系统性地排查故障。以下为关键处理步骤：
1.安全准备与初步观察
*断电安全：处理前务必关闭分子泵及前级泵电源，确保系统完全泄压至大气压。高压危险！
*记录现象：详细记录当前真空度、抽气时间曲线、异常噪音、报警信息（如有）、面板指示灯状态等。
2.外围系统排查
*检漏：这是常见问题。使用氦质谱检漏仪或分段保压法（涂抹酒精/观察真空计变化）检查腔体、法兰密封圈（O圈是否老化、压损？）、阀门（特别是旁抽阀是否关严？）、管道焊缝等。更换漏气的密封件。
*前级真空：检查机械泵（前级泵）运行是否正常（油位、油色、噪音、排气）？其极限真空是否达标？检查前级管路是否畅通、前级阀是否正常开启？前级真空不足会严重影响分子泵性能。
*真空规管：确认规管（特别是高真空规）是否准确、已正确除气？必要时对比或校准。
*阀门状态：确认所有阀门（高阀、前级阀、旁抽阀、放气阀等）的开闭状态是否符合抽气流程要求。
*冷却系统：分子泵需要良好冷却。检查冷却水流量、温度是否正常？风冷泵散热风扇是否运转？泵体是否异常过热？
3.分子泵本体检查
*电源与启动：确认供电正常，启动时倾听电机加速声音是否平滑？观察控制面板有无转速、电流、温度、故障报警？异常噪音可能预示轴承或叶片问题。
*轴承状态：分子泵高速运转依赖精密轴承。异常振动、噪音或温升可能表明轴承磨损，需评估。
*内部污染：长期使用可能积聚油蒸气、粉尘或反流物，沉积在泵内叶片、定子表面，影响抽气效率。严重污染需清洁或返厂。
4.尝试修复与验证
*系统重启：有时短暂断电重启可消除软故障。
*清洁与更换：清洁或更换漏气的密封圈、过滤器（如有）。排除外围问题后，若怀疑泵本体，联系供应商或工程师。
*分段测试：隔离分子泵，单独测试前级泵性能。或封闭腔体，测试分子泵自身极限真空。
5.预防性维护
*定期检漏、更换易损件（如O圈）。
*保持前级泵良好维护（按时换油）。
*避免向真空室引入过量可凝蒸汽或粉尘。
*遵循操作规程，避免粗暴抽放气。