工业级高纯氮气操作注意事项:在使用工业级高纯氮气现场,注意有否泄漏,室内环境应进行氧含量分析,氧含量大于18%时方可进入操作。对于检修用氮设备、容器管道时,须先用空气置换,分析氧气合格后方允许工作。
氮气纯化的方法有很多种,主要是有吸附法,变压吸附法,膜分离法等一系列方法。它在集成电路,半导体和电真空期间制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。
高纯氮气发生器在制氮领域内使用较多的是碳分子筛和沸石分子筛,分子筛对氮的分离作用主要是基于这种气体在分子筛表面的扩散速率不同,碳分子筛是一种兼具活性炭和分子筛某些特性的碳基吸附剂。碳分子筛具有很小微孔组成,孔径分布在0.3nm-1nm之间。