高纯氮气发生器在制氮领域内使用较多的是碳分子筛和沸石分子筛，分子筛对氮的分离作用主要是基于这种气体在分子筛表面的扩散速率不同，碳分子筛是一种兼具活性炭和分子筛某些特性的碳基吸附剂。碳分子筛具有很小微孔组成，孔径分布在0.3nm-1nm之间。
包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。每瓶氮气在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，小不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。
高纯氮气发生器以碳分子筛为吸附剂，采用常温下变压吸附原理分离空气制取高纯度的氮气，通常使用两吸附塔并联，由全自动控制系统，按照特定可编程序严格控制时序，交替进行加压吸附和解压再生，完成氮氧分离，获得所需高纯度的氮气。