氮气纯化的方法有很多种，主要是有吸附法，变压吸附法，膜分离法等一系列方法。它在集成电路，半导体和电真空期间制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。
储存：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30 ℃。应与易（可）燃物、还原剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
高纯氮气发生器在制氮领域内使用较多的是碳分子筛和沸石分子筛，分子筛对氮的分离作用主要是基于这种气体在分子筛表面的扩散速率不同，碳分子筛是一种兼具活性炭和分子筛某些特性的碳基吸附剂。碳分子筛具有很小微孔组成，孔径分布在0.3nm-1nm之间。