采用UV光解工艺对单一的有机废气物质或恶臭气体物质严格控制进气浓度、气量及其他条件时，UV光氧设备功率充足的情况下，测得UV光解净化效率均可达到99%以上。
UV光解废气净化设备适用范围：污水处理厂、垃圾处理站、垃圾转运站、家禽饲养场、泵站、卷烟厂、香精厂等领域产生各类恶废、异味气体。
UV光氧设备内部组成主要由德国技术紫外灯管、与光氧化活性纤维过滤层组成离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。等离子净化器设备是由电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性基，在毫秒级的时间内，瞬间对有害废气分子进行氧化还原反应，将废气中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易处理的物质。