特种气体 specialily gas：用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。特种气体应用于国民经济的很多行业, 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展, 无论在气体品种上,还是在数量上, 都以的速度发展, 生产的品种基本上满足了市场的需求。
特种气体应用于国民经济的很多行业, 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展, 无论在气体品种上,还是在数量上, 都以的速度发展, 生产的品种基本上满足了市场的需求。灭菌特种气体的主要成分是环氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，环氧乙1烷可杀灭细1菌（及其内孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体,另一类为混合气体。对于单元高纯气体,根据现已收集到的文献,汇总起来共有227种,可分成五个类别。
特种气体的重要性：在半导体工艺中，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离 不开电子特气，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。特种气体分类：从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体，随着工业、科学研究、自动化技术、精密检测（特别是微电子技术）的发展，特种气体成为工业气体市场规模增长新动力，广泛应用于半导体、LED、光纤光缆等新兴行业。
以上信息由专业从事电子特种气体的安徽谱纯于2024/7/13 10:56:47发布
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