准分子(Excimer)激光:准分子一词的本意,是「两个同种原子组成,而只存在于受激态的分子」,如稀有气体分子He2、Ar2、Xe2等;其英文原名为 Excited Dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽,以包含「不存在于基态,只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。金属蒸汽离子激光中,氦镉(He-Cd)激光是主要的,氦硒(He-Se)、氦锌(He-Zn)等激光为此家族中之成员。氦镉激光的325 nm紫外线,和441.6 nm蓝光,是常见的输出。加上特殊设计时,它可同时发生红光(635.6及636.0 nm)和绿光(533.7及537.8 nm)。它的短波长成分,在信息处理方面很有用。适当调配各波长的输出,几乎能够发生一切可见光的颜色,因此它的白光激光产品也是有名的。储存密度及鉴别能力的提高,使它在量度、查验、记载、印刷等方面有许多使用。
重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。一方面氩激光很少见,另一方面为了便于称号,人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此,英文文献亦见此用法,所以在不致混杂的时候,仍可用氩激光称号氩离子激光。激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。
目元激光混合气体的方案组成比例:CO:4%,CO2:8%,He:28%,N2:60%。这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到的输出功率,并且切割钢板厚度达到25mm,还可以更好的保证工件质量。近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及,但激光毕竟是一种新的工具,激光加工技术亦不同于传统的加工方法,所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中,曾经遇到各种各样的问题,给很多厂商造成不少困扰。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金属的蒸汽,都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中,常混入低压力的惰性气体,以提高放电效率。
如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。中性原子激光中,常见的是氦氖激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色显著,所以常用作非可见光激光中的指引光束(Guiding beam)。其优越的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110V的电压、价格相对地),使它广用于扫描读码设备及全像等。常用的激光焊接保护气体主要有N2、Ar、He,其物化性质各有差异,也因此对焊缝的作用效果也各不相同。
以上信息由专业从事罗芬激光气体的安徽谱纯于2024/7/20 7:05:03发布
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